靶材自動探傷,超聲C掃描檢測
靶材自動探傷,超聲C掃描檢測
靶材由濺射材料和靶托通過釺焊層連接。釺焊質量影響靶材界麵層導熱性能, 甚*導致脫焊或融化。靶材的突然脫落會造成設備的嚴重損壞, 導致重大經濟損失。因此, 靶材釺焊層必須具備良好的導電性和導熱性, 同時還必須具備足夠的強度。
碩德檢測提供的靶材**檢測設備,適用於靶材粘接檢測和內部缺陷檢測,可用於金屬靶和陶瓷靶、平靶和管狀靶。超聲探傷原理是利用超聲波經水耦合進入靶材板後,入射傳播,當板中有缺陷會引起超聲反射,若無缺陷,超聲波到達靶材下表麵後由於與粘接材料(或空氣夾層)的聲阻抗不匹配而導致回波幅度不同,超聲儀器將超聲反射信號經放大信號處理後實時報警,實現粘接和缺陷的自動檢測。
考慮到靶材粘接檢測的*性以及靶材材料本身的聲特性,係統采用聚焦超聲縱波脈衝反射液浸法C掃描技術進行檢測,實現對粘接率的計算和內部缺陷的探傷。對於用中間層材料結合方式(如軟釺焊、硬釺焊和環氧樹脂粘接等)的濺射靶材-背板結合麵的孔洞、未結合、氧化物夾雜等缺陷可進行有效的檢驗。其他用途的材料結合質量無損檢測也可參照使用。
適用靶材的種類
1. 金屬靶材 鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、铌靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁矽靶、AlSi、矽靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、不鏽鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶等。
2. 陶瓷靶材 ITO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、氮化矽靶、碳化矽靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化矽靶、一氧化矽靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二铌靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶,、二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,三氧化鎢靶,三氧化二鋁靶五氧化二鉭,五氧化二铌靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶,氮化矽靶,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化矽靶,铌酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。
3.合金靶材 鐵鈷靶FeCo、鋁矽靶AlSi、鈦矽靶TiSi、鉻矽靶CrSi、鋅鋁靶ZnAl、鈦鋅靶材TiZn、鈦鋁靶TiAl、鈦鋯靶TiZr、鈦矽靶TiSi、 鈦鎳靶TiNi、鎳鉻靶NiCr、鎳鋁靶NiAl、鎳釩靶NiV、鎳鐵靶NiFe等